轮廓同心度对晶体谐振器加速度的影响灵敏度
石英晶体谐振器一直是一个具有挑战性的问题几十年来的谐振器设计结构对称性谐振器和安装组合已在过去的工作中展示过,无论是理论上还是实践上,都要有很强的影响力加速度灵敏度,以及专业结构开发大大提高了性能,但是,有机载雷达系统等应用是对进一步改进的持续需求.
设计了许多实用的高稳定度谐振器需要良好加速度灵敏度的产品也是受其他属性约束,如高品质因子,和这些约束通常会导致低频泛音具有完全轮廓的谐振器元件设计的装置,在这纸张,轮廓形状的同心度对其影响考虑轮廓谐振器中的石英盘,结果如下提出表明之间有很强的相关性从空白中心和加速度的轮廓偏移谐振器的灵敏度,还描述了方法测量相对于周长的轮廓位置磁盘.
使用平面安装设计配置定位与谐振器元件的中心平面如图1所示外圈是一种牢固附着的刚性陶瓷结构石英晶体基部和环和空白之间是一个基本上平面的阵列结构也提供了减少在石英谐振器的静态应力下,这种设计方法有取得了优异的性能,具有g敏感性的结果在某些情况下,低于10-10/g,同时Q仍然表现良好和相位噪声,然而,通常情况下是水晶参数,通常有性能分布每个制造组中的g敏感性,这导致产量生产调度中的问题和不可预测性,这里报道的工作旨在找到这些的根本原因异常结果,侧重于轮廓同心度.
加速度灵敏度,有时称为g敏感度,过去已经广泛讨论了石英晶体谐振器的问题几十年,该参数在应用程序中最重要需要良好的相位噪声,但设备暴露在哪里高振动场,一个很好的例子就是频率直升机雷达系统的参考,理论工作由蒂尔斯滕和周等人基本上得出的结论是石英谐振器具有完美的空间对称性谐振器元件和安装结构将呈现零g敏感性,设计师提出并实施了实用装载设计近似对称结构的目的实现低加速度引起的频移.
他们也看着使用精心定位的肿块沉积在上面空白表面修改共振位置模式,从而提高g灵敏度,这种技术可能对于平面,高频进口谐振器设计非常有用,但在典型的低频,低相位噪声设计中,根据需要,空白几何形状是轮廓的,并且在这些情况下电极表面上的增量质量负载变化对模式形状的影响很小.很多别的作者讨论了实践和理论上的考虑实现低加速度灵敏度,包括还开发了实用的设计在法国从20世纪70年代起以高度的形式出现复杂的BVA结构,利用石英桥谐振器元件以及多个石英元件和导电结构为其提供对称支撑谐振器.
已经确定了几种可用于的方法测量石英中轮廓形状的同心度谐振器空白,在10MHz的频率上建立了一个实验泛音QRM产品比较轮廓偏移与加速度灵敏度的测量值,正如预期的那样这种晶振产品类型,两者之间有明显的相关性参数,积极的结果促成了一系列的改进轮廓加工过程的发展,以及导致产品质量和产品质量的显着提高让.
